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1115-99-7 / 三乙基鎵的制備方法

背景及概述[1-2]

三乙基鎵是一種無色液體。比重1.0586(30℃),熔點-82.3℃,沸點142.6℃。三乙基鎵在蒸氣中呈單體,在空氣中燃燒,發出猛烈的火焰。三乙基鎵溶于乙醚、苯等有機溶劑,遇冷水迅速分解產生二乙基氫氧化鎵和乙烷。三乙基鎵由鎵與二乙基汞在約160℃共熱而得。

高純三乙基鎵等金屬有機化合物是金屬有機化學氣相沉積技術(MOCVD)、化學束外延(CBE)中生長光電子材料最重要且用量最大的原料,并廣泛應用于生長銦鎵砷氮(InGaAsN)、銦鎵砷(InGaAs)、銦鎵磷(InGaP)等化合物半導體薄膜材料。純凈的三乙基鎵在室溫下為液體,當用于MOCVD時需要將三乙基鎵封裝在鋼瓶內,然后控制鋼瓶溫度,使其蒸氣壓達到一定值,再通過持續流動的載氣,將氣相三乙基鎵帶入MOCVD或CBE生長系統。

三乙基鎵的制備方法

制備[2]

(1)在惰性氣氛下,將72g(3mol)鎂粉與386g溶劑(其中四氫呋喃和2-甲基四氫呋喃的摩爾比為5:3)混合后,將468g(3mol)碘乙烷用12h勻速滴加到鎂粉和溶劑的混合液中進行格氏反應;滴加碘乙烷0.5h后,將709g無水三碘化鎵溶液(無水三碘化鎵與環己烷的摩爾比為1:3)用11h勻速滴加到格氏反應體系中進行取代反應;所述格氏反應和取代反應的溫度為60℃;所述碘乙烷和無水三碘化鎵溶液均滴加結束后,繼續維持2h,得到含有三乙基鎵配合物的溶液;

(2)將所述步驟(1)得到的含有三乙基鎵配合物的溶液于95℃下蒸餾,得到三乙基鎵配合物;再將三乙基鎵配合物于120℃解配,于56℃接收三乙基鎵142.5g;得到的三乙基鎵的純度99.9999%,收率為90.76%。

參考文獻

[1]化學詞典

[2][中國發明]CN201811019049.6一種三乙基鎵的制備方法

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