TMAH的用途

1、作為集成電路（IC）行業、液晶顯示器行業（TFT-LCD）、光電子(LED)行業的顯影液。

TMAH是一種有機堿，一方面它和無機堿一樣具有強堿性，另一方面它具有其獨特的特性，即在使用過程中不會留下金屬離子，加熱后可以分解成三甲胺氣體和甲醇氣體且不留任何痕跡，可廣泛應用于現代電子行業。顯影液的主要成分是堿，原來使用的堿是無機堿KOH，隨著科技的進步，集成電路的設計制造需滿足各種復雜的工藝條件，對化學品雜質要求越來越苛刻。之前用的顯影液是KOH等無機堿，顯影后需要用大量的水進行沖洗基板，最終還不能保證K+ 能夠徹底沖洗干凈。金屬離子的過度殘留就無法滿足一些苛刻的工藝條件，如單個制造單元中電子元器件的數量越來越多，線寬越來越窄，成為制約電子行業發展的一個不容忽視的瓶頸，而TMAH正好克服了KOH的缺點，無金屬離子，高溫分解無殘留。

因此TMAH是目前使用最普遍且性能最優的顯影液。已取代無機堿（KOH、NAOH）廣泛用于集成電路（IC）行業、液晶顯示器行業（TFT-LCD）、光電子行業。

2、清洗劑：PCB等電子行業清洗劑，TMAH具有良好的清洗效果且無殘留。

3、工業用催化劑（相轉移催化劑，可以幫助反應物從一相轉移到能夠發生反應的另一相當中，從而加快異相系統反應速率的一類催化劑。一般存在相轉移催化的反應，都存在水溶液和有機溶劑兩相，離子型反應物往往可溶于水相，不溶于有機相，而有機底物則可溶于有機溶劑之中。不存在相轉移催化劑時，兩相相互隔離，幾個反應物無法接觸，反應進行得很慢。相轉移催化劑的存在，可以與水相中的離子所結合，并利用自身對有機溶劑的親和性，將水相中的反應物轉移到有機相中，促使反應發生）。

TMAH作為季銨堿，在有機硅、橡膠防老劑領域是一種高效催化劑。

危險性

危險性類別：

第8.2類堿性腐蝕品

侵入途徑：

吸入、食入、經皮吸收

健康危害：

其主要的健康危害分成兩部份，第一部份是OHˉ基，其特性為強堿與腐蝕性，健康危害效應為造成皮膚及黏膜組織灼傷；第二部份是TMA+基，其特性為類似毒螺類神經毒素，健康危害效應為抑制呼吸肌肉群，造成呼吸肌肉停止，心跳減緩，嚴重者導致腦部缺氧死亡。故吸入、食入或皮膚大面積與TMAH接觸時，在15-30分鐘內產生急性中毒，甚至呼吸停止死亡。